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簡(jiǎn)要描述:波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統(tǒng) 高壓 真空 XPS 系統(tǒng)唐:I582I984229
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波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統(tǒng) 高壓 真空 XPS 系統(tǒng)
波蘭 PREVAC 同步加速器分析系統(tǒng) 高壓 真空 XPS 系統(tǒng)
該多功能系統(tǒng)專為對(duì)材料表面進(jìn)行精確多樣的分析而設(shè)計(jì)。
系統(tǒng)由固定真空室的主機(jī)架組成;分析室、制備室、負(fù)載鎖定室和線性轉(zhuǎn)移。所有框架都是獨(dú)立的,并配有帶螺釘鎖定裝置的腳輪,用于地板定位。框架可以根據(jù)需要斷開連接并移動(dòng)到實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的其他位置。每個(gè)框架還配備了自己的烘烤帳篷。該系統(tǒng)非常通用,未來可以進(jìn)一步擴(kuò)展以添加例如切割室、存儲(chǔ)室和/或 PLD 室。
該系統(tǒng)有一個(gè)獨(dú)立的獨(dú)立式控制器柜,用于真空和儀表設(shè)備。
UHV 系統(tǒng)包括各種互鎖渦輪分子泵組、離子泵和鈦升華泵。泵送系統(tǒng)、儀表和閥門(安全和通風(fēng))全由微處理器和軟件控制,并帶有完整的安全聯(lián)鎖裝置。
各個(gè)腔室都通過光纖出口進(jìn)行內(nèi)部照明,以監(jiān)視腔室之間的樣品轉(zhuǎn)移/支架機(jī)制。
該系統(tǒng)配備有蒸餾水冷卻器。
提供各種樣品架以提供廣泛的加熱和冷卻能力。
AES ARPES EA15 EA15-HP50 IS 40C1 IS 40E1 ISS Kerr效應(yīng) MBE MBE Chamber MBE腔室 Prevac PREVAC 離子源 TPD/TDS UHV特高壓多室分析系統(tǒng) UHV表面科學(xué)分析系統(tǒng) UPS UVS 40A2 XPS(ESCA) X 射線源 光電子能譜儀 光電子能譜測(cè)量?jī)x 半球分析儀 半球能量分析儀 原子力顯微鏡 原子力顯微鏡分析 原子力顯微鏡分析系統(tǒng) 多層薄膜的原位實(shí)時(shí)磁光Kerr效應(yīng) 無油真空泵 殘留氣體分析儀 真空光譜儀 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系統(tǒng) 真空測(cè)控裝置 真空能量分析 真空能量分析光譜 真空腔 真空表面分析系統(tǒng) 離子源 表面分析系統(tǒng) 超薄磁性薄膜 高壓光發(fā)射光譜特高壓系統(tǒng) 高真空泵
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