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美國(guó)Angstrom Sciences 圓柱形磁控濺射陰極

簡(jiǎn)要描述:美國(guó)Angstrom Sciences 圓柱形磁控濺射陰極
聯(lián)系張經(jīng)理:I8721868549(微信同號(hào))

  • 產(chǎn)品型號(hào):磁控管
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-09-08
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:78
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美國(guó)Angstrom Sciences 圓柱形磁控濺射陰極

Angstrom Sciences 為幾乎所有標(biāo)準(zhǔn)濺射工藝提供先進(jìn)的磁控管。但我們知道,每個(gè)應(yīng)用程序都是不同的。這就是為什么我們開(kāi)發(fā)了一種模塊化方法,專(zhuān)門(mén)適應(yīng)您的規(guī)格。

圓柱形磁控管長(zhǎng)期以來(lái)一直受到玻璃鍍膜行業(yè)的信賴(lài),可以在最大限度地提高目標(biāo)利用率的同時(shí)創(chuàng)造均勻的薄膜?,F(xiàn)在,Angstrom Sciences 創(chuàng)造了一種緊湊、輕便且經(jīng)濟(jì)的圓柱形磁控管,專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于為平板顯示器、太陽(yáng)能電池和網(wǎng)絡(luò)涂層應(yīng)用提供這些相同的優(yōu)勢(shì)

定制設(shè)計(jì)

可使用直徑為 3″ (75mm) 或 5″ (125mm) 的背管,長(zhǎng)度可達(dá) 4 米,并且具有最小的源到源間距,可提供插入式和側(cè)面安裝的完整組件 多個(gè)串聯(lián)陣列可用于緊湊型高通量生產(chǎn)系統(tǒng)。

 

經(jīng)濟(jì)且兼容的投資

ONYX-Revolution™ 采用通用且具有成本效益的磁鐵設(shè)計(jì)和定制的周轉(zhuǎn),以適應(yīng)任何目標(biāo)類(lèi)型。而且,它采用現(xiàn)成的組件設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)低成本、長(zhǎng)期投資和可靠性。

 

技術(shù)

Angstrom Sciences 的異形磁體技術(shù)在源和基板之間創(chuàng)建了更接近正常的沉積輪廓。改進(jìn)的沉積輪廓減少了腔壁上的碎屑堆積。

此外,Angstrom Sciences 的磁體陣列提供更高的磁場(chǎng)強(qiáng)度,允許用戶(hù)以更低的功率運(yùn)行濺射工藝以實(shí)現(xiàn)典型的沉積速率。

 

轉(zhuǎn)換儲(chǔ)蓄

本質(zhì)上,圓柱形磁控管可以容納的目標(biāo)材料量是具有相同空間面積的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 進(jìn)一步優(yōu)化了材料投資,目標(biāo)利用率高達(dá) 85%。此外,在較低功率水平下運(yùn)行可節(jié)省 20% 的典型功率。



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